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在三坐標測量過程中涉及很多形位公差基礎知識。機械加工后后零件的實際要素相對于理想要素總有誤差，包括形狀誤差和位置誤差。這類誤差影響機械產品的功能，三坐標目的目的就是要判斷被測零件是否符合圖紙要求，每一個特征測量的結果都需要按照公差要求進去輸出

垂直度

垂直度（⊥） 用來控制零件上被三坐標測量要素（平面或直線）相對于基準要素（平面或直線）的方向偏離90°的要求，即要求被測要素對基準成90°

平行度公差用來控制線對線 、 線對面、面對線、面對面

基本概念

被測要素：

零件圖中給出了形狀或（和）位置公差要求，即需要三坐標檢測的要素

基準要素：

用以確定被測要素的方向或位置的要素（簡稱基準）

被測要素和基準要素可以是中心要素，也看是輪廓要素，他們均有理想和實際兩種情況。